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學位論文
氮化鉭阻障層之新式晶種模板在無電鍍銅膜與導線製程之應用
Application of a new seed template on tantalum nitride barrier layers to electroless plating of copper thin films and interconnects
吳定曄
指導教授 :
陳錦山
逢甲大學/理學院/材料科學與工程學系/碩士(2015年)
https://doi.org/10.6341/fcu.M0123171
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無電鍍
;
TaN阻障層
;
食人魚溶液
;
十八烷基三氯矽烷
;
自組裝單層
;
電漿改質
延伸閱讀
Chu, H. M. (2009).
利用磁控濺鍍法於軟性基材上製備含鋯介層之氮化鋯阻氣薄膜
[master's thesis, National Tsing Hua University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6843/NTHU.2009.00764
李芳茗(2015)。
應用在氮化鎵高電子遷移率電晶體的銅閘極金屬阻障層之研究
〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2015.00530
Hsu, C. H. (2007).
Application of Microcontact Printing for the Fabrication of Micrometer-scale and Sub-micrometer-scale Silver and Copper Patterns & Conducting Polymer Polyaniline Patterns
[master's thesis, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2007.03034
蔡弘堯(2012)。
Fabrication of V-grooved and Textured Single-Crystalline Silicon by Wet Chemical Etching for Buried Contact Solar Cell Applications
〔碩士論文,國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-0401201218590600
Lin, Y. H. (2013).
Preparation and Characterization of Copper Indium Gallium Diselenide and Copper Zinc Tin Sulfide Powders Used as the Absorber of Thin-film Solar Cells
[master's thesis, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2013.10574
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