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學位論文
穿透切割膜檢驗晶圓切割道微隱裂隙之光學系統研究
Optical System for Inspecting Micro cracks in Silicon Wafer through Dicing Tape
林聖峯(Sheng–Feng Lin)
指導教授 :
羅丞曜
;
陳政寰
國立清華大學/工學院/動力機械工程學系/博士(2016年)
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因申請專利緣故,資料延後公開
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光學系統
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光學儀器設計
;
光學檢驗
;
紅外成像
;
散射,粗糙表面
;
散射,瑞立
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Optical systems
;
Optical design of instruments
;
Optical inspection
;
Infrared imaging
;
Scattering, Rough surfaces
;
Scattering, Rayleigh
參考文獻
因申請專利緣故,資料延後公開
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延伸閱讀
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晶圓穿孔陣列之光輔助電化學蝕刻特性研究
〔碩士論文,國立臺灣師範大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0021-2910200810561231
戴于翔(2019)。
不同雷射切割條件下矽晶圓之強度研究
〔碩士論文,義守大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0074-2908201904344500
陳士孝(2014)。
同步輻射X光光譜與穿透式電子顯微鏡對鑽石薄膜之研究
〔博士論文,淡江大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6846/TKU.2014.00467
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高精確穿透式液晶光電元件空穴厚度的量測分析
〔碩士論文,國立臺灣師範大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0021-2004200715512083
張志傑(2008)。
Micro-crack inspection in heterogeneously textured of solar wafers using anisotropic diffusion
〔碩士論文,元智大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6838/YZU.2008.00016
國際替代計量
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