溶凝膠法製備鐵、鈮、鈦摻雜之鋯酸鉛鋇薄膜

Fe-, Nb-, and Ti-doped (Pb,Ba)ZrO3 thin film prepared by sol-gel process

郭雅翎(Ya-Ling Kuo)

指導教授 ： 吳振名

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2006年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2006.00242

摘要

本實驗以化學溶液溶凝膠法(sol-gel)在白金基板上成功鍍製平整緻密的鋯酸鉛鋇，(Pb0.6,Ba0.4)ZrO3 (PBZ)薄膜，並以鐵(Iron, Fe)、鈮(Niobium, Nb)、及鈦(Titanium, Ti)等元素作1%、5%、10%的摻雜。實驗中所選用的摻雜元素均為針對鋯位置的取代，除了摻雜元素種類及濃度的變化外，亦對熱處理溫度對薄膜性質的影響加以探討。
鐵元素的摻雜大幅改變了PBZ的微觀形貌，介電常數與調變值都得到大幅的改善，而因價數差異造成缺陷平衡的改變，使漏電流行為發生了改變；鈮元素的摻雜有效降低了散逸因子，同時調變值的提高使優異值(Figure of merit)非常優秀，漏電流對電場的行為亦非常穩定；而鈦元素雖然在鈦酸鉛鋇(PZT)中被認為是造成疲勞的主要原因，但對於PBZ的介電常數與調變值有很大的幫助，即使損失提高，但其優異值仍較摻雜前薄膜出色。

關鍵字

鋯酸鉛鋇 ； 鐵摻雜 ； 鈮摻雜 ； 鈦摻雜 ； 調變 ； 鈣鈦礦 ； 順電相

並列摘要

無資料

並列關鍵字

PBZ ； Fe-doped ； Nb-doped ； Ti-doped ； tunable ； paraelectric ； perovskite

參考文獻

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