以旋轉光罩進行X-Ray微結構加工之研究

The Resarch on Fabricating Micro-Structure using X-Ray Lithography with Mask Rotating Method

曾志峰(Chih-Feng Tseng)

指導教授 ： 雷衛台

國立清華大學/工學院/動力機械工程學系/碩士(2006年)

摘要

本論文建立LIGA製程中的X光微影加工系統，包含PC-base運動控制軟體，曝光劑量模擬程式及加工規劃參數設計軟體以及旋轉平台。此系統使用旋轉光罩加工，可配合標準實驗光罩，進行曝光顯影實驗，快速完整得到不同顯影時間下的曝光劑量對顯影深度數據庫。對於加工3D微結構，可根據已建立數據庫，藉由旋轉光罩加工理論，模擬加工結果及設計相對應光罩及運動規劃，進行曝光顯影實驗完成。

關鍵字

LIGA ； 3D微結構 ； 旋轉光罩

參考文獻

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