微波式RFID於電子廠無塵室FFU監控系統之應用

The Application of Microwave RFID in FFU Monitor System

謝棟杰

指導教授 ： 林則孟

國立清華大學/工學院/工業工程與工程管理學系工程碩士在職專班/碩士(2008年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2008.00159

摘要

FFU(Fan Filter unit)是處理無塵室潔淨度的重要設備，其監控系統一直存在著許多重大問題，包括(1)線路複雜且數量多(2)施工不易(3)施工耗時(4)設置成本太高等問題。因此本研究探討以無線的方式取代傳統的作法，利用微波式RFID系統運用於電子廠無塵室的FFU監控系統。
而在文獻當中得知多種無線應用，以微波式RFID系統(Microwave，2.4GHz)的無線技術具有(1)多重目標讀取(2)通訊距離長(3)成本低等優勢，再賦予I/O介面感測功能，在監控的應用上更是成效顯著，本研究與工研院合作開發新興「微波式RFID感測應用」Reader一對多個Tag通訊，解決了傳統儀控線路的限制。
且因成本考量，本研究選擇RFID技術來進行驗證，利用RFID導入的方法，發展原型設計、開發、測試等程序，結果驗證微波式RFID導入FFU監控系統是可行的。在投資效益分析上，節省大量材料、提昇人工效率、增加彈性等指標量化之後，ROI經計算超過50%，非量化指標如避免設備擴充時停機風險，亦為本研究的成果。冀望能用以達到監控之外，可大量節省材料也盡到減碳及環保的責任，更進一步深入探討其它價值，建議可在危險場合(如礦場)、遠距離監視(如油管、路燈)等應用上使用。

關鍵字

微波式RFID ； FFU ； 監控系統 ； 無線感測網路

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並列關鍵字

RFID ； monitoring system ； wireless ； WSN

參考文獻

[8] 胡凱晏，「EPC Network為基之物流追蹤追溯資訊系統」，國立清華大學

[5] 林柏碩，「RFID 預埋於營建廢棄物流向追蹤之技術可行性研究」，中央大學，營建管理研究所，碩士論文，2007

[20] 劉品蘭，「八吋晶圓廠昇級為十二吋晶圓廠之改善型工廠佈置-以半導體A廠蝕刻區為例」，中原大學，工業工程研究所碩士論文，2003

[17] 趙偉成，「軟體可用性評估方法論之建立與驗證:以企業資源規劃軟體為例」，國立清華大學工業工程與工業管理碩士論文，2003

[4] 林林弘，「以EPC Network 建構RFID 資訊系統架構-以汽車產業鏈為例」，