電子束輻照後之氧化鋅奈米線電性研究

Electrical contact properties of ZnO nanowires after irradiation

林昭志(Zhao-Zhi Lin)

指導教授 ： 陳福榮 ； 開執中

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2007年)

摘要

本論文的研究主題是利用TEM-STM兩點電性量測系統來研究ZnO奈米線與Au探針間的接觸性質對電性的影響。使用TEM-STM系統的最大好處就是可以利用TEM顯微影像來觀察電性量測時奈米線與探針間的接觸情形，我們使用JEOL 2000FXII之加速電壓200keV的電子束輻照ZnO奈米線，利用電子束sputtering來改變奈米線的表面成份及表面形貌，然後觀察電性的變化。
在我們的實驗中可以觀察到隨著電子束輻照改變奈米線與探針的接觸情形，電性的變化將由傳統的ZnO-Au接觸形成的蕭基接觸(Schottky contact)，隨著輻照時間的增加改變了ZnO奈米線的成分，量測所得的電性將趨近於歐姆接觸，最後變成了歐姆接觸。為了研究如此的電性變化，我們進而使用了EELS來分析電子束輻照後組成的變化，進而了解由蕭基接觸變成歐姆接觸的原因。比較電子束輻照前後的EELS data後，發現電子束輻照可以使ZnO奈米線的氧原子解離，所以表面含有大量的鋅原子，最後造成輻照區域成份的改變，進而造成電性的變化。

關鍵字

電子束輻照 ； 氧化鋅奈米線 ； 電性 ； TEM-STM

參考文獻

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