3D-X光刀奈米結構加工系統研發

The Development of 3D Nano-Structure Exposure System

方天青(Tian-Qing Fang)

指導教授 ： 雷衛台

國立清華大學/工學院/動力機械工程學系/碩士(2007年)

摘要

本論文研究重點是，應用LIGA製程之X光微影（X-Ray Lithography）技術，進行3D微結構加工可行性之研究。
　　論文分為兩個主要部分，第一為架構3D微結構曝光系統，此系統硬體包含在真空腔內作相對運動之光罩固定平台及奈米定位運動平台；軟體系統包含，正向路徑曝光加工模擬系統及奈米平台控制系統。第二為以Ｘ光刀加工平面（或特徵曲面）工件之正向路徑規劃、模擬及實驗驗證，以確立不同形狀光刀之各項參數與加工結果間之關係，整合前段光罩設計製造技術與後段顯影粗糙度實驗結果，建立製程參數數據庫。
　　本論文建構之3D為結構加工系統可由加工路徑製造出特徵3D曲面之為結構，加工範圍為200×200μm，表面粗糙度為30nm。

關鍵字

3D微結構 ； 路徑規劃 ； 運動控制

並列摘要

無資料

並列關鍵字

LIGA

參考文獻

[10] 吳俊穎, 李永春, “任意曲面3D微結構之準分子雷射加工及光學應用”,國立成功大學微機電系統工程研究所碩士論文, 民國94年.

[9] 郭晉良, 李永春, “準分子雷射加工微型3D立體結構”,國立成功大學機械工程研究所碩士論文, 民國91年.

[13] 曾志峰, 雷位台, “以旋轉光罩進行X-Ray微結構加工之研究”,國立清華大學動力機械工程研究所碩士論文, 民國95年.

[8] 郭士豪, 李永春, “準分子雷射應用於加工軸對稱之立體微結構”,第十六屆全國機械工程學術研討會論文集,第五冊,pp.45, 1999.

[2] W. Menz, “Microsystem technology”, New York, Wiley-VCH, 2002.