奈米銀指叉電極搭配不同微結構氧化鋅膜測試空氣溼度

Measurement of air humidity by nano-silver interdigitated electrode with zinc oxide thin films having different microstructure

李佳璇

指導教授 ： 周更生

國立清華大學/工學院/化學工程學系/碩士(2014年)

摘要

本研究利用製作圖案印章搭配銀墨水經乾燥及熱處理後，可方便且快速地製作指叉電極。印章尺寸為 27×15mm，電極對數 5 對，長度為 13mm。以印章法製作的電極採用固含量 37.5%、黏度為 6.31cP 之銀墨水製作。蓋印時以 152g 力道(約會使印章下壓 1mm)蓋印，於 280℃下燒結 10 分鐘即可得到指叉電極。0.15毫升之墨水在蓋印力道相同(下壓 1mm)之條件下，一次約可連續蓋印 40~50 個電
極。
以 200nm 的棒狀氧化鋅製作而成的不同微結構之氧化鋅膜，測量空氣濕度，可發現比表面積與平均孔徑大小為測量時的重要因素，多種不同微結構中以旋轉塗佈法(500 rpm, 10 sec)製作而成的 20μm 厚度氧化鋅膜，對濕度表現最為良好，空氣濕度自乾燥到飽和狀態，薄膜電性皆有所反應，此微結構之比表面積為 30.8 m2
/g、平均孔徑大小為 204.5Å ，電阻對濕度關係圖可達到 0.99 的線性關係

關鍵字

微結構 ； 氧化鋅 ； 溼度偵測 ； 奈米銀電極 ； 印章法

參考文獻

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