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學位論文
氮化鎵薄膜磊晶在圖案化基板上
Epitaxy of GaN Film on Patterned Substrate
吳佩瑜(Pei-Yu Wu)
指導教授 :
吳耀銓
國立交通大學/工學院/材料科學與工程系所/博士(2017年)
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摘要
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關鍵字
氮化鎵
;
圖案化藍寶石基板
;
發光二極體
;
磊晶
;
有機金屬化學氣相沉積
;
氮化鋁
;
碳化矽基板
並列摘要
無資料
並列關鍵字
GaN
;
patterned sapphire substrate
;
LED
;
epitaxy
;
MOCVD
;
AlN
;
SiC
;
light-emitting diode
參考文獻
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顯示所有 122 篇參考文獻
延伸閱讀
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