TFT-LCD產業揮發性有機物(VOCs)空氣污染防制設備直燃式燃燒爐(TO)與旋轉蓄熱式燃燒爐(RRTO)效能差異研究

TFT-LCD Industry Prevention Of VOCs Air Pollution Using Control Equipment TO And RRTO Performance Comparison Analysis Research

黃青嶺(Chimg-Ling Huang)

指導教授 ： 羅煌木

朝陽科技大學/理工學院/環境工程與管理系/碩士(2009年)

摘要

TFT-LCD光電產業在生產製造中使用大量的有機溶劑，因此製程產生許多VOCs(揮發性有機溶劑)廢氣，沸石轉輪濃縮焚化系統處理VOCs廢氣應用在半導體製造業已經有多年歷史，目前科學園區約有60%以上使用其設備來控制所排放VOCs廢氣，其處理效能均可達90%以上，是目前最適合光電相關製造業，且符合民國95年1月5日所發布“光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準”被公認為最穩定且處理效率最佳之空氣污染防制設備。 本論文針對TFT-LCD廠實廠進行旣有VOCs處理設備“直燃式燃燒爐(TO)”與新增設VOCs處理設備“旋轉蓄熱式燃燒爐(RRTO)”探討比較，並將其兩種不同空氣污染防制處理設備，效能與差異作更深入分析、研究；經由本研究結果得知： 不同之空氣污染防制設備處理效率比較，經由實際檢測分析，原設置直燃式燃燒爐(TO)，即便進行各種操作改善仍無法提升效率，因此更新VOCs污染防制設備為旋轉蓄熱式燃燒爐(RRTO)，除了提高VOCs處理效率外並因較高的燃燒溫度產生之燃燒副產物越少且濃度越低，同時也替企業省下大筆的操作費用，不僅節能亦減碳(廢)，也期望通過本論文研究，能提供相關業者作為日後新建廠時設置空氣污染防制設備之參考與建議。

關鍵字

揮發性有機氣體 ； 旋轉蓄熱式燃燒爐 ； 直燃式燃燒爐 ； 空氣污染防治設備 ； 薄膜電晶體液晶顯示器

並列摘要

Organic solvents have been largely used in the manufacturing process in TFT-LCD photoelectric industry. Therefore, large amounts of volatile organic compounds (VOCs) may be produced in the production process if not properly controlled. These VOCs contain (CH3)2SO, C2H7NO, C8H18O3, (CH3)2S2, (CH3)2S, C8H8, (CH3)2CHOH and (CH3)2CO that may cause unpleasant odor and affect human health. Rotary regenerative thermal oxidizer (RRTO) has been found to be efficient to remove these VOCs in the semiconductor manufacturing industry accounting for 60%. Around 90% of VOCs removal efficiency can be achieved via RRTO air pollution control device (APCD). It is found suitable to be the best available control technology for the VOCs control. RRTO APCD can meet the emission standard of VOCs in photoelectric industry promulgated and regulated by Taiwan EPA in 2006.
In this study, removal efficiency, operational performance and energy saving of RRTO and TO APCDs were investigated. Results showed that RRTO could remove VOCs to an extent of 90% better than TO. In addition, RRTO can reduce the energy consumption compared to TO. Via this study, it is evident that operational performance of RRTO is better than that of TO and therefore it can be used and referred to future APCD installation. RRTO can meet the national VOCs emission standard and it also can meet the policy of energy saving and carbon reduction.

並列關鍵字

TO ； APCD ； RRTO ； TFT-LCD ； VOCs

參考文獻

89. 奇美電子股份有限公司網站，http://www.cmo.com.tw。

62. 周明顯，“排氣蓄熱式焚化法簡介”，國立中山大學環境工程研究所，2003。

27. 行政院環保署，“光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準”，2006。

28. 光電科技工業協進會，「FPD Taiwan」暨「OPTO Taiwan」展覽躍升亞洲光電產業櫥窗，(2004)。

22. 黃朝義（2000），“韓國TFT LCD產業分析”，《光電產業及技術情報》，25，1-6。