摘要
光學式表面超音波激發與量測技術可應用於薄膜材料性質的量測，是一種非接觸與非破壤式的材料性質檢測方法。本研究介紹光學式表面超音波激發與量測技術的應用需求、操作原理、實驗架構並驗證此架構的可行性。實驗架構上，超音波激發的部分採用脈衝雷射激發，量測部分則採用Mirau干涉顯微鏡。實驗結果表明，此實驗架構確定可以收到具有頻散效應的超音波訊號，並可應用於薄膜楊氏模數的量測。以100μm不銹鋼單層簿膜為試片，透過光學式超音波激發與偵測重複實驗6次，量測結果與理論值誤差在7.5%以內，與接觸式量測誤差在18%以內比較，驗證了Mirau干涉顯微鏡量測超音波的可行性，以及良好的重現性。
延伸閱讀
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