正負壓冷凍機之洩漏特徵比較

本文以氣體動力學的理論發展一套負壓系統與正壓系統之洩漏特徵的分析方法，並以系統洩漏率爲評估系統氣密性之準則。本研究方法將真實的洩漏孔隙類比爲一漸縮直管，洩漏氣流在其中之運動速度的極限爲音速；分析具有單一缺陷孔之系統時，該孔隙之大小代表製造水準的等級。計算分析時以一體積爲2立方公尺的系統來考慮，根據計算得的壓力變化，求得系統的洩漏率，分析結果顯示：（一）在相同的孔隙水準在1×10^(-4)mbar L/sec即可滿足實際運轉之要求，孔隙水準約爲10^(12)平方公尺；（三）負壓冷凍機要求的洩漏率水準較高，孔隙水準的要求也較高，要達到10^(-14)平方公尺才行。