電腦護目鏡鍍膜之連續式濺鍍製程研究

察榮源 ； 蕭森崇 ； 李啟華

《光學工程》 56期 (1996/12) Pp. 20-28

https://doi.org/10.30011/OE.199612.0003

摘要

本研究主要報導利用連績濺鍍製程(In-line sputtering process)製作14”電腦護目鏡。該電腦護目鏡是由氧化銦錫(ITO)透明導電膜和二氧化矽(SiO2)介質朕相互推疊成四層膜層結構鍍在透明或半透明玻璃基板上所講成。每一膜層的厚度皆不相同。爲了精凖控制每一膜層的厚度、所有相關的濺鍍製程參數，包含反應氣氛的比例、工作氣壓的大小、輸出電源電流大小、以及基板的傳送速度等，皆件有系統的分析與比較並建立其對膜層厚度的影響。本研究同時探討如何設計與製作－量產型連續濺鍍系統可用以生產高良率與高品質之電腦護目鏡。