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摘要


表面起伏式(surface relief)繞射元件或Kinoforms,其表面繞射圖案可使入射的光波之相位產生變化,基本上比一圖案可利用一相位函救表示其在基材上分佈,及計算經其調制後出射光波特性參數。因此表面是主伏式(surface relief)繞射元件屬於相位式(phase type),即利用相位方式來調制出射光波,所以效率與條紋之寬度、深度、及形狀有著密不可分關系。在上述繞射元件時第一階出(繞)射光波強度與入射光波強度比定義爲繞射效牟(diffraction efficiency),爲描述繞射元件或繞射元件功能之重要多款;效率大小意味者可被利川之光量多寡。本文效率分析以用Scalar Theory及Rigorous Coupled Wave Theory爲主。首先以Rigorous Coupled Wave Theory分析理想光栅淡型作爲基凖,再以純受理論分析實際波型所產生之效率以驗證兩種理論問差異。

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