有機光阻絕緣層導入量產之評估研究

The evaluation and research about inducts organic photoresist insulator to produce line

劉文昱(Wen-Yu Liu)

指導教授 ： 段葉芳

國立臺北科技大學/工程學院/化學工程研究所/碩士(2006年)

摘要

關於有機光阻(壓克力系光阻)的研究報告，大多數著重於探討合成方法或其基本性質研究，在實際量產線的評估研究較為缺乏。因此本篇論文將以實際四代量產線生產機台作為評價有機光阻絕緣層之用，希望能建立簡單的評估方式得到最佳的結果。
本研究主要使用S公司所提供之有機光阻作一系列評估：塗佈轉速、光阻塗佈均一性、損失量、曝光能量、顯影時間...等，來求得最適量產的條件，進而利用有機光阻絕緣層可以增加開口率、平坦化、絕緣之優點，使薄膜電晶體液晶顯示器能有更好的發展及未來。

關鍵字

薄膜電晶體 ； 液晶顯示器 ； 有機光阻 ； 高開口率 ； 曝光

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無資料

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Thin film transistor ； Liquid crystal display ； Organic photoresist ； High aperture ratio ； Exposure

參考文獻

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