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  • 學位論文

電化學輔助表面改質超薄鉭膜之自組裝單層 暨無電鍍銅膜生長與阻障性評估

Evaluating the Barrier Properties of Self-Assembled-Monolayers and Electroless Plated Copper on Tantalum Ultrathin Film by Electrochemistry Assisted Surface Modification

指導教授 : 陳錦山
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