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  • 學位論文

奈米孔隙介電材料(p-SiOCH)之滲氮與鍍錳強化處理

Strengthening of nanoporous dielectric materials(p-SiOCH)by nitriding and sputtering of ultrathin manganese films

指導教授 : 陳錦山
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擴散阻障層

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