- 學位論文
多晶矽埋入式電極太陽能電池之研究
Study of Multicrystalline Silicon Solar cells with Buried-Contact Structure
摘要
近幾年綠色能源深受注目，帶動了太陽能電池產業的蓬勃發展，在有限的照光面積下如何達到最高的轉換效率成為了首要目標；隨著太陽電池效率與製程技術的不斷改善，其中由Stuart Wenham所提出的埋入式電極太陽電池(BCSC,buried contact solar cell)結構，與一般太陽電池不同的是利用雷射技術定義出凹槽填入電極並加上選擇性射極，不僅減少了金屬電極的遮蔽效應還有增加藍光波段吸收與減少載子復合速率的優點，明顯的提升了轉換效率。 起初的埋入式電極搭配選擇性射極結構需經過兩次的磷擴散和黃光製程，不僅耗時又會有高成本的問題；本實驗較以往所提出的BCSC不同的地方是利用濕式蝕刻與抗蝕刻膠定義圖形的方法蝕刻出凹槽，並且只需經過一次磷擴散搭配回蝕(etch back)技術製作出選擇性射極，以往較複雜的製程都被簡化了，有減少製程時間及較低成本的優點。
參考文獻
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