利用SU-8聚合物製作的光波導方向耦合器之可調式微流體分光器模擬研究

Numerical Study of Microfluidic Variable Power Splitter Based on SU-8 Polymer Directional Waveguide Coupler

馮秉豪

指導教授 ： 王立康

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2014年)

摘要

本論文設計一可調式分光器，使用聚合物光波導方向耦合器，導光層為高分子聚合物SU-8、下披覆層為SiO2，並在方向耦合器上方建置一流體渠道作為上披覆層，藉由調變流體渠道中的流體折射率使得此分光器在輸入TE模態之1550nm波長光時可以得到任意的分光比例。
接著改變元件的結構設計一極化無關的可調式分光器，模擬結果雖然完全達到極化無關可調式分光器，但也已經降低了TE模態與TM模態分光功率的誤差，並且在流體折射率1.46時單一點可以達成極化無關，即TE模態與TM模態之耦合長度相同。

關鍵字

光波導 ； 方向耦合器 ； 可調式分光器 ； SU-8 ； 微流體

參考文獻

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