利用硝酸氧化與熱氧化法鈍化多晶矽太陽能電池之研究

Surface Passivation of Multicrystalline Silicon Solar Cells Using Nitric Acid and Thermal Oxidation Method

梁仲凱(Chung-Kai Liang)

指導教授 ： 王立康

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2014年)

摘要

本實驗利用浸泡硝酸氧化法在多晶矽晶片上成長氧化矽後，並搭配有氧氣環境下的高溫退火(熱氧化)再成長出超薄熱氧化矽用以表面鈍化，並討論不同溫度下退火的少數載子壽命，來尋找最佳的退火參數，而我們也比較了有無浸泡硝酸的矽晶片在高溫退火後，在大氣環境下隨時間的衰減程度，並使用電致發光(EL)量測，來得知預先硝酸氧化處理的優點，而藉由此方法我們有效提高了業界產線片的轉換效率。

關鍵字

太陽能 ； 矽晶太陽能

參考文獻

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