太陽能電廠製程排氣中二氧化氮(黃煙)之減量淨化處理

Minimization of nitrogen dioxide in process exhaust from a photovoltaics factory

佘仲偉(Chung-Eei She)

指導教授 ： 張國慶

國立屏東科技大學/工學院/環境工程與科學系所/碩士(2014年)

https://doi.org/10.6346/NPUST.2014.00137

摘要

近年來太陽能產業迅速發展，製程生產過程中排放出含有氟酸，硝酸及氮氧化物等高濃度酸性氣體，然而NOx對人體的健康有一定的影響，該物質屬於空氣污染防制法中管制排放的物種，應妥善處理，避免造成企業形象、人員觀感不佳及影響周遭居民的健康。太陽能廠之粗糙化蝕刻製程為產生NO x的主要來源。
某一月產能25MW (百萬瓦)太陽能廠使用填充洗滌塔處理廢氣，入口濃度測得NO2：100~150ppm。因其洗滌塔處理效果不佳，經處理後煙囪排放廢氣中仍含有NO2 (黃棕色氣體)，出口測得50~70ppm，去除效率為50％~60%。
本研究利用設備分流方式，經由排氣風管將NO2廢氣抽至頂樓以填充洗滌塔處理，尤其在第二次分流後，新增再生型除煙除酸過濾觸煤吸附塔及加藥再生處理後，去除效率可達90%。經實驗分析濕度影響效率及再生型除煙除酸過濾觸煤吸附塔中二段式觸媒對NO2去除率不同而提出改善，使煙囪廢氣NO2濃度明顯下降至15~20ppm，達到完全無黃煙。以月產能25 MW (百萬瓦)而言，分流及新增再生型除煙除酸過濾觸煤吸附塔後，可完全改善公司周遭居民觀感不佳問題及改善公司企業形象。

關鍵字：氮氧化物、觸媒、廢氣除酸、填充洗滌塔、活性碳。

關鍵字

氮氧化物 ； 觸媒 ； 廢氣除酸 ； 填充洗滌塔 ； 活性碳

並列摘要

In recent years, the rapid development of solar energy industry, process exhaust from a photovoltaics factory usually contains high concentrations of hydrofluoric acid, nitric acid, and nitrogen oxides. These acid gases have a certain impact on human health and are regulated by the Air Pollution Control Act. Therefore, these acid gases should be properly handled to avoid damaging corporate image, poor perception of people, and affecting the health of surrounding residents. Roughening etching process is the main source of NOx.

Inlet NO2 concentration for the scrubber was measured at: 100 ~ 150ppm in a solar power plant with monthly production capacity 25MW (megawatts). Due to the low removal efficiency of 50% to 60%, the emissions still contained 50 ~ 70ppm NO2 (yellow-brown gas) after treatment.

In this study, the practice of devices streaming was applied, exhaust gaese contained NO2 was repiped to the top floor and treated via the exhaust scrubbers. After the second split, a new regenerative activated carbon adsorber with catalyst filters was added after scrubbing, the removal efficiency was raised to 90%, i.e. the NO2 emissions concentrations decreased to 15~20ppm.

Keywords: nitrogen oxides, catalyst, scrubbers, activated carbon adsorber.

並列關鍵字

nitrogen oxides ； catalyst ； scrubbers ； activated carbon adsorber

參考文獻

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