線型無塵室之氣流特性比較分析

本文以流體數值模擬軟體TASCflow採多成份元素（空氣與二氧化碳）與暫態模式，探討空間高度限制下應用線型潔淨單元所建構無塵室之氣流特性。模擬結果整理二氧化碳濃度隨時間變化之數據，得線型無塵室氣流循環效率（氣流空間運動型態指標）ε(下標 a)值為0.62，但低於理想活塞運動型之1，顯示線型無塵室內部氣流運動已略俱單一方向氣流運動之特性。潔淨單元擴散器兩側吹出氣流，俱有壓制兩潔淨單元間迴流氣流上升之功能；兩潔淨單元間迴流會隨越接近回風口，迴流氣流被往下吸的效應就越強。在回風口附近氣流由上而下直接往回風口集中，空間中不會有迴流氣流產生，氣流運動形態呈現近似位移通風。線型潔淨單元中擴散器兩側吹出氣流與回風口位置及尺寸，都是線型潔淨單元應用於無塵室之重要設計參數。