• 學位論文

18吋晶圓傳送盒迫淨方式比較

晶圓傳送盒FOUP (Front Opening Unified Pod)，為半導體製程間輸送及儲存的重要載具設備，未來隨著晶圓製程線徑尺寸於將縮至20奈米，晶圓製程直徑由12寸邁向18吋大小，如此大幅度的變動，代表著現有的迫淨方式已不適用於次世代的製程，如何有效地維持18吋晶圓傳送盒內部潔淨度，即為本研究最重要的課題。 本研究以全尺寸實驗進行18吋晶圓傳送盒(FOUP)之迫淨充填模式分析，根據現有晶圓廠使用的系統架構，配合新型態的迫淨方式可以將充填模式分為3種：1.一般充填(無導流管)2.導流管充填3.真空充填(無導流管)方式進行汙染物移除效率分析。本研究主要探討：1.利用潔淨壓縮乾空氣對18吋晶圓傳送盒進行迫淨時，內部水蒸汽的移除情形；2.利用真空系統輔助潔淨壓縮乾空氣對18吋晶圓傳送盒進行迫淨時，內部水蒸汽的移除情形，並討論真空充填系統與傳統充填系統耗能比較。

• 學位論文

遠紅外線塗料用於分離式空調機之節能效益分析

本研究之目的為藉由遠紅外線材料致使分離式空調機達到節能減碳的效益，並採用外加噴塗的方式將遠紅外線材料披覆於分離式空調機之熱交換器上，藉此以非破壞性的裝設方式達到節能與工程應用的可行性。實驗中為藉由塗佈於管鰭式冷凝器上在相同的外氣環境與室內環境下，同時比較有塗佈與未塗佈遠紅外線材料對分離式空調機其熱交換之換熱與節能效益的差異。實驗結果顯示，使用商用遠紅外線材料應用於分離式空調機上在塗佈管鰭式冷凝器時，其能達到15.94%~17.87%的EER提升率；4.62%~6.32%的消耗電力節省率；9.8%~10.58%的冷凍能力提升率；2.6%~4.1%的吐出口溫度降低率。本實驗所使用的遠紅外線材料確實能提升熱交換裝置其運轉時之效益，並且能使用外加噴塗的裝設方式，能大大的提升未來實際應用的可行性。

• 學位論文

HFC-152a應用於冰箱與除濕機之效益分析

本研究主要目的為討論環保冷媒HFC-152a替代HFC-134a冷媒之效益分析。實驗是以市售HFC-134a蒸氣壓縮循環系統冰箱及除濕機，先行在原來未換裝系統HFC-134a下進行冷媒性能測試後再以HFC-152a冷媒進行性能測試，後續分別比較兩種冷媒系統間的性能差異分析。 實驗結果顯示在沒有改變系統元件及更換冷凍油情況下，將一個容量95L的家用冰箱以30克之HFC-152a取代其原有50克之HFC-134a冷媒時，整體上HFC-152a在家用冰箱實驗中的性能很接近R134a冷媒，性能表現上比原使用HFC-134冷媒之蒸氣壓縮循環系統性能表現更為優異，在平均耗功可降低約11%，冷媒充填量亦可大幅減少約40%，另將一個除溼能力6L的家用除溼機以100克之HFC-152a取代其原有125克之HFC-134a冷媒時，其整體系統性能參數表現為最佳狀況。其中冷媒充填量減少了約20%左右，除濕能力增加約7%，平均消耗電功率高約5 %，HFC-152a的確有能力來取代HFC-134a冷媒。

• 學位論文

UV-C燈具應用於空氣品質改善的可行性分析

本研究目的為探討隨著國內日益重視空氣品質的要求，以目前市場上的空氣淨化技術中的光化學鍵解技術，除了光觸媒-二氧化鈦技術外，是否有其他的技術演變應用，並探討其淨化的可行性及是否有二次污染物產生。甲醛、甲苯與丙酮等有機氣體與二氧化碳是室內空氣品質中最常見的污染物，所以本研究此四種汙染物作為首要的研究對象，利用一套可控制溫度、風量及系統風速之空氣處理系統中安裝UV-C燈具設備來淨化空氣，達到去除汙染物的功能。實驗結果顯示，UVC燈具對甲苯擁有最好的去除率，其次依序為甲醛、丙酮、二氧化碳，其於UVC燈具運轉4Hr後的實際去除率分別為60.9%、48.7%、41.6%、18%，並得知UVC燈具應用於常溫條件與低風速的操作區段擁有較好的汙染物去除率。本研究確實能在使用UVC燈具的條件下，達到去除汙染物的功效，此將大大的提升未來應用上的可行性。

• 學位論文

R-32替代R-410A之冷氣機節能效益研究

本實驗研究之目的是討論R-32替代R-410A之冷氣機節能效益研究，R-410A與R-32的物理性質非常接近，將市面上R-410A冷媒的變頻分離式冷氣及水冷式箱型冷氣，在原本R-410A系統中進行冷媒性能測試後再以R-32冷媒進行性能測試，然後個別比較這兩種冷媒系統間的性能差異分析。在本論文的實驗結果中得到，在變頻分離式冷氣和水冷式箱型冷氣之冷媒系統中，R-410A與R-32的過熱度兩者相當接近。在市面上販售的R-410A變頻分離式冷氣機對R-32與R-410A的冷媒進行對比測試，可以得到的EER分別為3.69與3.49，且R-32的製冷能力也高於R-410A的製冷能力。而在水冷式箱型冷氣對R-32與R-410A的冷媒進行對比測試，可以得到的EER分別為4.78與4.49，且R-32的製冷能力也高於R-410A的製冷能力。綜合上述各項性能參數，在R-32冷媒直接替代R-410A應用時，其EER和製冷能力都有一定的增加，而冷媒系統的運轉壓力變化並不大，故將R-410A機組直接替代R-32冷媒運行時，其系統的製冷能力和EER，就技術性能而言是具有直接替代應用的可行性。

• 學位論文

居家型空間CO2濃度降解之研究

國人每人每天約有80∼90%的時間處於室內環境中(包括在住家、辦公室或其他建築物內)，室內空氣品質（IAQ）的良窳與否，在室內空氣品質管理法頒布後，成為大家關注的焦點。本研究以居家為主軸，由於國內居家空間之種類繁多且室內空間佈置並無一致性，因此採用污染物質量平衡模式為基礎，用CNS6873室內換氣量之測定法（作業中1.0之能量代謝率每人CO2呼出量0.023m3/hr）量測室內容積89.125m3的無隔間環境，以全熱交換器及植物等方式探討CO2濃度降解變化情形。 實驗結果顯示，於密閉空間且無使用全熱交換器，放置植物(6吋吊蘭3盆)距離地面0.9m，使用T5型日光燈在吊蘭高度量測照度為504 Lux，其植物降解CO2濃度約為34 ppm/hr；無放置植物使用全熱交換器中速（風量355 CMH），開啟循環風扇進行測試，5人CO2濃度量測值為825 ppm、7人CO2濃度量測值為966 ppm、8人CO2濃度量測值為1086 ppm與10人CO2濃度量測值為1191 ppm，最多僅7人使用可降解至空氣品質管理法CO2 1000ppm最低需求，每人降解（使用空間12.73m3）所需風量為50.7 CMH。

• 學位論文

二元冷凍系統之性能改善分析

本論文係以實驗比較方式，探討常見冷媒R-134a與非共沸冷媒R-404A、兩種冷媒進行二元冷凍系統，增設儲液預冷器裝置與減熱器研究探討，分析二元冷凍系統加裝冷媒過冷卻前後之比較與差異。由系統變化過冷卻與過熱狀態下其性能係數(Coefficient of performance，以下簡稱COP)能力，以實驗數據分析來推論冷媒系統安裝「儲液預冷器」之可行性。藉此瞭解二元冷凍系統在本研究所設計不同模式下，實際運轉情形與系統性能各方面之表現。 由本實驗數據分析可得知，以低溫側壓縮機吐出口加裝減熱器有效控制冷凝器之液管過冷度低於38℃以下；而加裝儲液預冷器改善低溫側蒸發器泵集停機後冷媒溫升等不穩定等問題，進而提升製冷速率；在將上述兩種加裝元件同時運轉模式下與基礎模式作比較分析，結果發現，以原二元冷凍系統耗能為基準，加裝減熱器、預冷裝置與減熱器加預冷裝置等三種模式下其節能效益，依序分別為24%、54.3%以及57.8%。因此，對於二元冷凍系統加裝減熱器及預冷裝置將能有效提升整體性能，降低碳排放量。

• 學位論文

人員偵測蒸氣壓縮空調智慧型控制系統研發

本研究目的為研發一套偵測人員預先調控的空調系統，利用人員視訊偵測技術並模糊控制理論做為控制手法，針對在一空調供區域內，利用區域內人員熱負荷數量不同和設定溫度與室內溫度差的變化，控制空調系統的壓縮機頻率以及送風機風速，設計一套節能且兼顧舒適的空調系統。本實驗對於不同控制策略對系統影響進行分析。實驗模擬環境為夏日外氣溫度為35°C使用空調情況進行研究探討。研究結果顯示，在室內兩人、四人以及六人情況下相較於傳統控制分別節能11%、14%以及23%。室內穩態後溫度傳統On-Off控制穩態誤差為±1°C，而智慧型控制空調有較佳的穩態誤差約±0.3°C。利用人員偵測之系統，在人員熱負荷變動較大的情況下能有較好的穩態溫度，同時當人員熱負荷離開空調區域時能夠及時降載，避免室內熱負荷變少的情況下不必要的浪費，比一般變頻節能約7%。由以上結果證明本研究設計之智慧型控制手法利用人員偵測技術應用於蒸氣壓縮循環系統上有明顯的降低耗電量，並且能有較佳舒適溫度。

• 學位論文

太陽能驅動駐車排熱系統之可行性研究

本研究是建立利用薄膜太陽能板做為電力來源，驅動橫流扇進行熱負載排除的系統，根據熱空氣上升冷空氣下降的原理車輛頂端應是熱空氣集中最多的地方，因此我們將裝置設計在車輛天窗上來對車內排熱。透過不同的實驗，我們可以得到三個重要的結果: (1)將橫流風扇裝於車天窗可將車內溫度從45 oC 降至35 oC，而裝於車門窗的風扇則降至38 oC ，兩者結果相差3 oC ，顯示出散熱點於天窗比於車門窗有更好的效果。(2)車窗些微下拉4cm再配合風扇來排熱之效果可將車內溫度從46 oC於五分鐘降至30 oC ，比車窗皆關閉時所降至36 oC 有著6 oC的差異。(3)實驗環境模擬在嚴苛夏季的氣候條件下，無加裝任何排熱裝置的汽車其車內溫度可上升至65 oC 或是更高，而裝有排熱裝置的汽車可將車內溫度維持在49 oC 一段時間。本研究證明利用橫流風扇將車內的熱往外排出不只可以幫助汽車在開啟空調可於短時間內達到舒適溫度，亦可以減少汽車電力上的消耗。

• 學位論文

利用遠紅外線鋯粉提升熱交換性能研究

本研究之目的為藉由遠紅外線鋯粉與中孔碳材料致使熱交換效益提升，且採用噴塗之方式噴塗於熱交換器外殼，以非破壞性的加裝方式達到節能與工程實際應用的可行性。實驗中為藉由遠紅外鋯粉熱交換效益分析，在相同的入水水溫、流速與熱交換面積下進行熱交換效益增進的探討，為熱交換器覆上保溫後，阻絕其熱傳導與熱對流後進行熱交換效益實驗，以探討遠紅外線鋯粉與中孔碳是否具有將熱能吸收後轉換為遠紅外線之能力，而後再進行遠紅外線鋯粉吸收/放射驗證實驗，遠紅外線鋯粉與中孔碳在吸收遠紅外線後轉為熱能之效益。實驗結果顯示，使用遠紅外線鋯粉應用於散熱效益分析上在遠紅外線鋯粉之重量百分濃度為為7.5%時，在尚未包上保溫的情況下與上漆銅管比較其能增進21.51%~31.84%的熱交換效益提升；當包上保溫後，還是能達到11.87~17.88%的熱交換效益提升；當與裸銅管相較時，也能保有18.98~26.42%之熱交換效益提升。中孔碳應用於散熱效益分析上在中孔碳之重量百分濃度為為5%時，在尚未包上保溫的情況下與上漆銅管比較其能增進12.89~13.34%的熱交換效益提升；當包上保溫後，則達到2.25~2.56%的熱交換效益提升；當與裸銅管相較時，保有.97~10.55%之熱交換效益提升。