中華民國振動與噪音工程學會論文集
中華民國振動與噪音工程學會,正常發行
選擇卷期
- 會議論文
在台灣現有之各項高科技產業中，半導體工業已躍居全球第四大，而國內現計劃建廠之八吋晶圓廠家即將近二十多家，由於這項高獲利之明星工業，仍有相當樂觀之前景，而電腦工業的不斷擴充亦使其上游之半導體工業技街亦隨之快速成長，為擴充台灣半導體工業日後在全世界之市場佔有率，製程技術與設備之精進自然成了政府與相關業界研發之重心。由於半導體工業未來將進入深次微米之世紀，除了製程技術與設備之掌控外，半導體製程儀具基礎暨樓板結構環境振動反應之抑制亦成了不可或缺之項目，否則即便投資再多之經費於製程技術與設備方面，假若加速度反應值未能滿足規格需求，則產品之精度與良率亦無法達成原設計目標，是以半導體製程儀具基礎暨樓板結構設計工作尤不可輕忽，本文乃針對此項問題進行相關分析工作用以抑制結構體之振動量。在本文中，除了運用有限元素法進行傳統的結構應力應變與振頻振模分析外，並配合試驗量測資料，進一步完成頻率響應分析與隨機振動分析等相關工作，最後再以分析結果順利輔助半導體製程儀具基礎結構設計工作目標之達成。
- 會議論文
本計劃探討振動物體的表面複數聲音功率其虛部所代表的意義。根據高斯發散定理，可以推導出複數聲音功率的虛部對映至聲場中所儲存的應變能及動能之差，而聲音功率的實部則對映至遠場中所輻射的能量。由此等觀察，聲場可以視爲由聲音壓縮的應變及慣性效用所形成的質量／彈簧系統，而其遠場的輻射效應則可視爲阻尼效應，如此聲場可視爲質量／彈簧／阻尼系統，此系統的作用力是物體表面的振動推擠聲音介質，而功率的實部及虛部則分別代表系統中消耗的能量及儲存的應變能及動能之差，因此實部及虛部可以指示此系統的功率輻射效率。 在這裹我們應用先前所建立的聲音模態[1]，將任意的速度分佈以聲音速度模態展開，並探討了每一個模態的輻射效率隨頻率變化的情形。最後，我們計算了圓球和細長橢圓體的數值實例，並顯示了橢圓體較圓球體更易輻射出聲音。
- 會議論文
本研究旨在利用週期性訊號檢測技術與頻譜分析技巧來建立機車傳動齒輪組的振動訊號檢測技術。有鑑於機車齒輪組常因製造誤差，或軸及齒輪的偏移等因素，而影響輪齒的囓合。其結果除了形成傳動誤差外，更會引起振動與噪音。因此本研究的目標即在於檢測齒輪組的振動，並分析其傳動性能，以進一步判斷出齒輪組內影響動力傳送與產生噪音的成因。本研究中亦針對實際的機車傳動齒輪組作測試，以驗證技術的可行性。
- 會議論文
本文採用模態分析法(Modal Testing Method)和電子光斑影像干涉術(Electronic Speckle Pattern Interferometry, ESPI)兩種不同的實驗方法來研究四邊固定鋁合金平板之振動問題，並與理論解析解及有限元素法軟體的結果相比較，以驗證實驗架設之適切性。且進一步利用此實驗裝置來研究多媒體電腦顯示器蔭罩元件之動態問題。