以本質較安全設計策略－探討高科技製程安全與製程設備完整性

陳俊瑜

《化工》 56卷1期 (2009/02) Pp. 61-72

https://doi.org/10.29803/CE.200902.0007

摘要

高科技廠房為達成薄膜、黃光、蝕刻等製程目的，必須投入大量可燃性、自燃性、毒性、腐蝕性之特殊氣體(special gas)及化學品(chemical)，大幅提升廠房火災、爆炸、中毒、腐蝕等危害發生機率，對在高科技廠房中作業勞工的安全造成極大潛在威脅。
機台設備安全完整性(mechanical integrity)係為美國聯邦政府公佈實施的高危害性化學製程安全管理法令其中規定之一，此規定主要精神係希望辨識出機台設備之關鍵性設備與其構成，並逐步依照各項製程設備與廠務供應系統，詳細檢討其完整性，以提高安全等級，首要重點就是關鍵性設備與其相關危害特性的了解，這必須從製程機台設備切入，從電力供應系統、電腦監控設備、氣體或化學品供應系統、反應器、真空系統、產品傳送裝置、產品進出貨裝置、加熱設備、冷卻設備及其他射頻產生器、烘烤裝置、塗佈等裝置，來瞭解其可能之高溫、洩漏中毒、腐蝕、火災、爆炸、感電、捲夾等危害源，最後獲得風險評估之成果，以供管理使用。
本質較安全設計(Inherently Safer De-sign)對於機台設備完整性有重要助益，因為當我們深入機台設備的各項危害源構造時，經常遭遇不清楚危害是否以已設置有消除方法或可行改善措施，本質較安全設計策略即可彌補不足之處，本質較安全設計得依系統思考是否已連動設計完成？未納入連動系統之製程裝制置是否應納入其中？如果不納入是否會造成嚴重後果？並且如果在機台設備規劃設計初期即進行考量，更可大幅提生機台設備之本質較安全性，日後裝機、操作或維修當然更加安全，這也十分符合機台設備完整性的精神與手法。
本文探討實務上機台設備安全完整性的注意重點，由辨識出適用於日後機台設備完整性計畫之關鍵性設備與危害特性至撰寫完善之機台設備完整性品保計畫或為機台設備完整性執行計畫，運用品質循環(PDCA)持續改善的效能，達成持續維護與改善的目標，完善良好機台設備完整性管理機制。最後並建置高科技製程機台設備完整性管理機制架構，可供實務上參酌使用。
機台設備安全完整性(mechanical in-tegrity)係為美國聯邦政府公佈實施的高危害性化學製程安全管理法令其中規定之一，此規定主要精神係希望辨識出機台設備之關鍵性設備與其構成，並逐步依照各項製程設備與廠務供應系統，詳細檢討其完整性，以提高安全等級，首要重點就是關鍵性設備與其相關危害特性的了解，這必須從製程機台設備切入，從電力供應系統、電腦監控設備、氣體或化學品供應系統、反應器、真空系統、產品傳送裝置、產品進出貨裝置、加熱設備、冷卻設備及其他射頻產生器、烘烤裝置、塗佈等裝置，來瞭解其可能之高溫、洩漏中毒、腐蝕、火災、爆炸、感電、捲夾等危害源，最後獲得風險評估之成果，以供管理使用。
本質較安全設計(Inherently Safer De-sign)對於機台設備完整性有重要助益，因為當我們深入機台設備的各項危害源構造時，經常遭遇不清楚危害是否以已設置有消除方法或可行改善措施，本質較安全設計策略即可彌補不足之處，本質較安全設計得依系統思考是否已連動設計完成？未納入連動系統之製程裝制置是否應納入其中？如果不納入是否會造成嚴重後果？並且如果在機台設備規劃設計初期即進行考量，更可大幅提生機台設備之本質較安全性，日後裝機、操作或維修當然更加安全，這也十分符合機台設備完整性的精神與手法。
本文探討實務上機台設備安全完整性的注意重點，由辨識出適用於日後機台設備完整性計畫之關鍵性設備與危害特性至撰寫完善之機台設備完整性品保計畫或為機台設備完整性執行計畫，運用品質循環(PDCA)持續改善的效能，達成持續維護與改善的目標，完善良好機台設備完整性管理機制。最後並建置高科技製程機台設備完整性管理機制架構，可供實務上參酌使用。

關鍵字

高科技製程安全 ； 機台設備安全完整性 ； 本質較安全設計

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無資料

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process safety ； mechanical integrity ； Inherently Safer Design

參考文獻

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