本實驗室所開發之微機電製程平台結合微機電面型微加工技術(Surface Micromachining)與體型微加工技術(Bulk Micromachining)概念,來開發出具備面型微加工技術特色之「金屬面型微加工製程」(Metal Surface Micromachining Process)與具有體型微加工技術特色之「SOI單晶矽體型微加工製程」(SOI Bulk Micromachining Process)。
The micro-electro-mechanical systems (MEMS) platform developed by National Nano Device Laboratories (NDL) was combined with the concepts of the surface micromachining technology and the bulk micromachining technology to develop a metal surface micromachining process and a SOI bulk micromachining process.
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