磷酸回收系統效益分析－以某半導體晶圓廠為例

半導體電子產業屬於高耗能產業，生產過程中需耗費大量的水、電、空調、化學品及氣體等能源及原物料，而其中使用化學品會排放具酸鹼性及有機性的龐大廢液。目前政府相關單位已針對半導體電子產業制訂嚴格放流水標準，環保團體亦對園區內所產生的汙染物相當重視且扮演監督角色，因此如何將廢液妥善處理，是園區內每個產業的重要課題之一。本研究主要以某半導體廠化學品磷酸廢液回收系統，利用磷酸廢液回收流程：設備排放→回收管路→回收桶槽→委外廠商處理（有償回收）。使其磷酸廢液提供廠商進行有效再利用，並減少廢水廠處理成本及廢液排放，達到環保及產業雙贏。