多通道感測元件之操作機制與探討

Operating mechanisms and theoretical analyses of multi-channels sensor

董先晉(Hsien-Chin Tung)

指導教授 ： 葉炳宏

淡江大學/理學院/物理學系碩士班/碩士(2011年)

https://doi.org/10.6846/TKU.2011.00505

摘要

近年來有學者指出蕭特基接觸奈米感測元件在紫外線、氣體與生
物感測上都可以提供很好的感測靈敏度。為了進一步使蕭特基接觸感
測元件在訊號輸出強度方面有有效的提升。本研究利用氧化鋅奈米線
製成多通道奈米感測元件，藉由通道與蕭特基電極端的增加，使感測
時的訊號輸出強度提升。在紫外線感測實驗中，多通道蕭特基接觸元
件不僅可以提升光電流輸出訊號，也保留了單通道蕭特基接觸元件在
元件操作上良好的穩定度。而在一氧化碳的感測實驗，甚至對5ppm
的氣體也能有很好的訊號辨識度。藉由研究多通道蕭特基接觸元件，
更能提升未來感測元件在實際應用可能性。

關鍵字

氧化鋅 ； 奈米線 ； 奈米感測器 ； 蕭特基接觸 ； 蕭特基能障 ； 紫外線感測器 ； 氣體感測器

並列摘要

The Schottky-gate nanosensor has good sensitivities for UV, gas and biomolecule detection. To improve the current output level for commercial application, the multi-channels device was fabricated by using ZnO nanowire. With increasing the schottky-gate number, the sensitivity and current output of the signal were enhanced. For UV sensing, the current output of the Multi-channels devices were increasing and without degenerating the stability compare to the Single-channel
device. For gas sensing, 5ppm CO can be detected at 275℃. The
Schottky-gate nanosensor have great applications for gas and UV
detection by increasing the Schottky-gate number.

並列關鍵字

Zinc oxide ； nanowire ； nanosensor ； schottky contact ； schottky barrier ； UV sensor ； gas sensor

參考文獻

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