應用馬氏田口系統於製程良率預測之研究-以半導體化學氣相沉積製程為例

The Study of Apply Mahalanobis-Taguchi System in Manufacturing Yield Prediction – An Example of Semiconductor Chemical Vapor Deposition Process

童元亨(Yuan-Heng Tung)

指導教授 ： 江瑞清

中原大學/電機資訊學院/工業與系統工程研究所/碩士(2010年)

https://doi.org/10.6840/cycu201000517

摘要

化學氣相沉積被廣泛的應用在半導體製程，而其薄膜厚度對於後續製程的良率影響甚大，故本研究結合馬氏田口系統（Mahalanobis-Taguchi System, MTS）與預先管制將其應用在半導體良率預測。應用上述兩方法結合後之研究結果 ，將原先監控之13項機台參數縮減為7項機台參數，而該模式判斷正確率高達0.92，本研究提供一快速且精確的良率預測模式。

關鍵字

品質工程 ； 預先管制 ； 良率預測 ； 馬氏田口系統 ； 田口方法

並列摘要

Chemical Vapor Deposition is wildly using in semiconductor Manufacturing Process, and the thickness of thin film would affect the manufacturing yield. So this study applies Mahalanobis-Taguchi System (MTS) and Pre-control developed recently in yield prediction. This Model make monitor parameters reduce 13 to 7 and Perception accuracy is 0.92. This study provides a fast and accurate yield prediction model.

並列關鍵字

Yield Prediction ； Pre-control ； Taguchi Method ； Mahalanobis-Taguchi System ； Quality Engineering

參考文獻

 吳政修，「應用馬氏田口系統於股價預測之研究-以台灣電子類股為例」，中原大學工業工程研究所，2008年碩士論文

 林瑞山，「類神經網路於預測晶圓測試良率之應用」，成功大學工學院工程管理在職專班，2004年碩士論文。

 姚仲澤，「多變量前置管制圖之研究」，成功大學統計學研究所，2003年碩士論文。

 連志偉，「非常態分配下前置管制圖之探討與研究」，成功大學統計學研究所，2002年碩士論文。

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