利用導膜共振效應之局部強場特性引發雙光子光聚合效應

林育暄(Yu-Shiuan Lin)

指導教授 ： 許佳振

國立中正大學/理學院/物理學系/碩士(2014年)

摘要

本論文發展出藉由一維導模共振光柵結構(Resonance waveguide grating,RWG)之局部強場特性，RWG 的結構主要組成為：
低射率光柵，覆蓋上高折射率材料TiO2 形成波導-光柵層。將RWG 設計具有近紅外光波段(波長為1064 nm)的導模共振模態(Guided-mode
resonance, GMR)特性，藉由嚴格耦合波理論(Rigorous Coupled WaveAnalysis，RCWA)計算分析，顯示此GMR 會在TiO2 波導層與空氣介面
形局部強場特性(strong local field)。使用nano-second Nd;YAG 雷射(1064 nm)為曝光光源來引發SU8 光阻的TPA 光聚合化效應；在無
RWG 結構下，所需要的臨界光強度為530 MW/cm2，而在RWG 結構的GMR 共振條件下， 其所需的光強度可以大大地被降低至
0.7MW/cm2。由於局部強場的效應關係，我們成功地製作出微奈米結構(小於100nm)。

關鍵字

導模共振效應 ； 雙光子光聚合效應

並列摘要

無資料

並列關鍵字

Two photon absorption ； Guiding mode resonance

參考文獻

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