運用雷射干涉原理進行加速規之絕對校正

On Implementation of Laser Interference Method for Absolute Calibration of Accelerometers

王文賢(W. H. Wang) ； 黃宇中(Y. J. Huang) ； 李百堂(B. T. Lee) ； 章俊隆(T. C. Yang) ； 楊長江(C. L. Chang) ； 邵清安(C. A. Shao)

《中華民國振動與噪音工程學會論文集》 1994 (1994/06) Pp. 203-208

https://doi.org/10.30028/CSSVANNUAL.199406.0203

摘要

在這工業日益自動化的今天，感測器扮演著愈來愈重要的角色。因為適當的感測器能即時反應出被測機器的真實狀況，由此狀況可判斷機器是否須維修或更新，所以感測器的誤差大小，會直接影響到量測品質，而定期與精準的校正是減少這些誤差的不二法門。目前在振動量測中，加速規是使用最廣泛的感測器，因此加速規的校正若能直接追溯到基本物理量（如長度、頻率、電壓等），則必能降低振動校正的誤差。自從雷射出現以來，雷射干涉儀便使用在振動校正方面，故加速規的校正可以做到十分精確的程度。本文將介紹度量衡國家標準實驗室之振動實驗室，目前正在進行中的雷射校正系統原理與方法，主要是利用干涉條紋消失法，來量得精確的振動振幅，這種校正原理乃是利用干涉光受到兩個激振器的調制作用，進而從此調制訊號中量測激振加速度的大小，進而校正加速規的靈敏度，這種校正技術乃爲最高精度的振動量測，亦常被應用於工業界的振動量測上。

並列摘要

Development of an absolute calibration system for accelerometers was described in this paper. Measuring capability of this system would focus on the middle and high frequencies of interest. The fringe disappearance method was selected as the technique for tuning the laser in light of its practical perspectives. Furthermore, automatic data acquisition of this calibration system was implemented via IEEE-488 interface bus for the sake of reducing the human factors.