三明治結構制振鋼板之損失係數分析

近來由於半導體製程技術由微米級進展至次微米級甚至奈米級的加工技術，所以對製程中振動的要求也日益嚴苛，所以對半導體設備所使用的強固制振機台其制振能力亦需相對的提高。而要提高制振能力，除了要不放大振動（高剛性），亦不可延長振動（增加結構阻尼），所以三明治結構的鋼板，是此類機台結構的最佳選擇。本文的目的主要是在比較此一三明治結構中，用不同的阻尼材料，其整體的結構阻尼值能提高多少，其次並比較同一阻尼材料，但是其厚度不同會對整體的結構阻尼產生什麼影響，最後並使用兩片厚度不同的鋼板比較其結果和兩片厚度相同的三明治結構其損失係數有何差異，以做爲強固防振機座設計之參考。