摘要
本篇文章，主要針對所設計的奈微米θ角平臺為出發點，此平台利用二段式的槓桿機構原理，讓輸出的位移能夠增大，透過有限元素Pro/Mechanica模擬軟體分析，探討其位移與結構模態的特性，最後以實驗來佐證模擬的結果，藉此可作為控制器設計抑制振動之頻寬考量，進而提升精密機械定位性能之目的。模擬與實驗結果，顯示以壓電致動彈性鉸鍊之定位平臺其操作頻寬可達約187.5Hz，旋轉角度高達10.4mrad；展示在每單位壓電致動位移與固定平面尺寸大小下，θ角平臺所能產生之旋轉角度具優異表現。此設計結果可以應用於目前半導體晶片的精密定位與檢測，及相關奈微米機電製程技術之設備上。
延伸閱讀
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