本論文是利用清雲科技大學量測與感測控制實驗室所自行設計開發的精密線性滑動平台為研究之主體,探討在不同控制策略下,移動平板的振動行為。一般而言,滑動平台在移載物品時,可能為了追求高效率的長行程快速定位或高精度的微小定位而忽略物品移載的穩定性,因而產生類似薄板的微小振動,本論文針對平板於移動平台的振動模態,進行量測分析,並首次引用雷射干涉量測系統來量測移動平台上的薄板振動,且進行即時控制實驗來驗證不同控制器之性能。實驗所得之結果,可做為抑制移動平台振動控制之用,極具理論與實務研究之創新價值。
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