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摘要


奈米科技是運用奈米尺寸特有的現象,將研發重點同時聚焦在材料和系統上,由於其結構和組成展現出全新的物理、化學、生物..等特性,所以奈米材料與奈米結構是奈米技術發展的核心。而為了配合奈米結構,壓電致動器亦趨於微小化,致動器所產生之力量亦變小,因此如何量測未來應用於微機電系統中之壓電致動器其產生的力量大小將會是一個相當大的挑戰。

關鍵字

奈米 微機電 壓電致動器

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