一種混合感測器／記憶體／互補式金氧半場效電晶體技術的奈米線生醫感測器

目前奈米製程技術已廣泛應用於生醫感測器的製造，尤其是矽奈米線生醫感測器具有微小化、與半導體製程整合的優越性，已成為未來醫療監控與生醫技術的一項重要研究方向。如何將生物感測、訊號處理及資料儲存同時整合於單一晶片上，將成為可攜式智慧型生醫感測器最重要的議題之一。國家奈米元件實驗室在現有的互補式金氧半（CMOS）元件製程技術平台上，成功開發出奈米線生醫感測器，與非揮發性氮化矽電荷儲存記憶體元件。本文將分別針對奈米線生醫感測器的靈敏度與奈米線記憶體元件的電荷儲存能力做進一步的探討與研究。藉由互補式金氧半場效電晶體、生醫感測器與記憶體元件製程整合平台的建立，將有助於未來智慧型生醫感測器系統單晶片的發展。