氧化鋅奈米柱及鐵酸鉍包覆氧化鋅奈米柱殼/核結構成長機制及特性研究

Growth mechanisms and characteristics of ZnO nanorod arrays and BiFeO3 covered-ZnO nanorod arrays core/shell hetero-structures

陳世偉(Shih-Wei Chen)

指導教授 ： 吳振名

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/博士(2011年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2011.00645

摘要

透過水熱法製程，我們在ZnO/Si基板製備一系列不同密度及垂直性之氧化鋅奈米柱體。並透過氧化鋅種子層的變化探討其對氧化鋅奈米柱之成長機制。實驗結果顯示，氧化鋅種子層之晶粒大小及表面粗糙度對後續氧化鋅柱體之密度及垂直性有明顯的影響。當氧化鋅種子層表面具有較大晶粒及較大的粗糙度時，成核的機制由晶界成核轉為表面成核。晶界成核導致氧化鋅奈米柱呈現高密度但較差垂直基板特性，表面成核之氧化鋅奈米則呈現較低之柱體密度但具有較佳的垂直基板特性。
實驗中我們透過導電式原子力顯微鏡對單根的氧化鋅奈米柱進行電流電壓(I-V)之量測，量測之I-V結果呈現一非線性且非對稱之圖形。此明顯整流特性的奈米級蕭基二極體，且比起一般文獻值(2 V~4 V)呈現一極大的崩潰電壓(> 10 V)。另外，實驗中我們可以觀察到有一明顯的電流遲滯現象，且此現象的產生與柱體表面產生的化學吸附及脫附現象的產生有關。
透過上述所製備之氧化鋅奈米柱，我們製備一包覆在氧化鋅奈米柱的鐵酸鉍(BFO)奈米結構，並探討其合成、表面形貌及磁性。實驗製程中，BFO的包覆是透過室溫下的鍍製後並於氧氣氛下退火以產生BFO結晶， 450℃的熱處理後開始產生BFO的結晶。透過掃描式電子顯微鏡(SEM)及穿透式電子顯微鏡(TEM)的檢測，證明BFO包覆在氧化鋅奈米柱上且呈現一多晶之特性。磁性的量測上，BFO/ZNA的異質結構在5 K 及 300 K下呈現一鐵磁矩，矯頑場及保核磁化量明顯的與薄膜特性不同。除此之外，在我們的研究中，X光繞射及SEM的結果顯示BFO的鈣鈦礦結構明顯的比起具有(0002)優選方向的氧化鋅薄膜更容易在ZNA上成長及結晶。BFO與氧化鋅間較大的晶格常數差異導致較差的附著性，使得在濺鍍時Bi3+ 轉變為金屬Bi，且被電將轟擊脫落無法形成BFO層。基於上述的理由，為了成功的使BFO附著於ZNA上，我們透過兩段式鍍製方法，即室溫鍍製後再進行後續的退火以形成BFO結晶。實驗證據顯示，ZNA具有的{101 ̅0}面比起(0002)面更適合BFO的成長。透過高解析穿透式電子顯微鏡(HRTEM)之觀察，發現ZnO之{101 ̅0}面具有崎嶇的表面結構，能有效的幫助BFO成長與結晶。另外，透過LNO緩衝層也能成功的在ZNA上製備與成長出BFO。透過C-AFM及壓電式原子力顯微鏡(PFM)之檢測，顯示BFO/ZNA及BFO/LNO/ZNA異質結構皆呈現二極體特性且有壓電訊號的產生。

關鍵字

氧化鋅 ； 鐵酸鉍 ； 奈米柱 ； 殼核結構 ； 鐵電

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