氮化鎵薄膜磊晶在圖案化基板上

Epitaxy of GaN Film on Patterned Substrate

吳佩瑜(Pei-Yu Wu)

指導教授 ： 吳耀銓

國立交通大學/工學院/材料科學與工程系所/博士(2017年)

摘要

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關鍵字

氮化鎵 ； 圖案化藍寶石基板 ； 發光二極體 ； 磊晶 ； 有機金屬化學氣相沉積 ； 氮化鋁 ； 碳化矽基板

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並列關鍵字

GaN ； patterned sapphire substrate ； LED ； epitaxy ； MOCVD ； AlN ； SiC ； light-emitting diode

參考文獻

1. H. J. Round, Elect. World, 49, 309(1907).

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