摘要
本實驗室所開發之微機電製程平台結合微機電面型微加工技術(Surface Micromachining)與體型微加工技術(Bulk Micromachining)概念，來開發出具備面型微加工技術特色之「金屬面型微加工製程」(Metal Surface Micromachining Process)與具有體型微加工技術特色之「SOI單晶矽體型微加工製程」(SOI Bulk Micromachining Process)。
並列摘要
The micro-electro-mechanical systems (MEMS) platform developed by National Nano Device Laboratories (NDL) was combined with the concepts of the surface micromachining technology and the bulk micromachining technology to develop a metal surface micromachining process and a SOI bulk micromachining process.
延伸閱讀
- 林洲全（2013）。單晶片微電腦電梯控制系統研究與模擬〔碩士論文，國立臺北科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6841/NTUT.2013.00575
- 林雅琪（2016）。二維奈米級微動平台自調式模糊PID控制器之研究〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu201600038
- 林冠伍（2019）。數位微型加工機人機操作介面的改善研究〔碩士論文，朝陽科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0078-0510202013405698
- 羅慶昌（1988）。The Establishment of DTM and Data Base。地籍測量：中華民國地籍測量學會會刊，(7)，19-30。https://doi.org/10.29609/YYWYLL.198804.0003
- 王光陸（2014）。Design and Implementation of an Exchange Platform for the Bonus Points and Premium〔碩士論文，國立屏東科技大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6346/NPUST.2014.00144