某半導體廠無機酸性白煙改善與研究

方照介

《工業安全衛生》 300期 (2014/06) Pp. 61-88

https://doi.org/10.6311/ISHM.2014.300.5

摘要

無機酸性氣體白色煙霧是許多電子產業製程中所產生的副產物，其中包括半導體及光電產業，由於酸性煙霧微粒的粒徑極小，使其得以通過人體的上呼吸道造成肺部的病變，嚴重破壞人體檢康。酸污染最嚴重的影響就是呼吸的問題會引起乾咳、頭痛、和眼睛、鼻子的過敏；2012年5月14日環保署修正空氣品質標準第二條，將懸浮微粒（PM2.5）納入管制，懸浮微粒係指懸浮在空氣中，粒徑小於等於2.5微米的粒子（PM2.5），其粒徑極小，容易隨呼吸進入人體，對健康造成嚴重的影響。因此，如何控制酸性煙霧及次微米微粒的排放是目前空氣污染防治技術的重要方向。本論文的研究範圍是針對於新竹科學工業園區某半導體廠因酸性蝕刻製程過程中，所產生無機酸性氣體白色煙霧而影響人體健康及造成環境的破壞。有鑑於此，在本文研究中分為兩部分進行改善探討：一、實驗過程概述：必需先了解該廠廠內無機酸性蝕刻機台Wet Bench所使用化學藥品類型及特性，並在實驗前裝置小型實驗用除霧器於蝕刻機台排氣出口端，並於小型實驗用除霧器入口端及出口端分別設置透明PVC管，以觀察從透明PVC管線目視實驗用除霧器之處理效率。在實驗過程中；觀察進入小型實驗用除霧器之無機酸性白煙不透光率約在60%，而酸性煙霧經過該除霧器後其出口端不透光率約在10%，（符合環保法規所要求不透光率在20%以下）所以使用此實驗為依據，並進行無機酸性白煙工程實務減量改善。二、工程實務減量改善概述：先將產線製程蝕刻機台所產生無機酸性白煙廢排氣管線匯集至廠務端酸性廢排氣主管線，再由酸廢排氣主管線銜接至編號A001廠務端酸性洗滌塔，其中串接無機酸性白煙除霧器，使白煙除霧器能捕捉到3 μm以下的次微米酸煙霧，而除霧器出口端再與編號A002酸性洗滌塔進行銜接，最後尾氣排放。此工程設置完成後，立即進行為期四個月導入測試，並且藉由運轉過程中，數據監測與調整，取得最佳化運轉數據，調整後運轉的處理效率，使無機酸性白煙目視不透光率可由70%降低至10%以下。