摘要
乾式眞空邦浦爲半導體製造廠中製程部份極爲重要之設備，且需求量極大，其內部構造與一般油潤滑式眞空邦浦不同。其運轉時需有較大之抽氣率，長期操作需要能維持一定之眞空度，且必須容易維護保養。基於以上之要求，目前國內中度眞空較常見之乾式眞空邦浦幾乎全爲法、美、日等國產製，其結構大部份爲多級式魯氏泵(Roots pump)或爪式泵(Claw-type pump)。本文乃針對法國ALCATEL產製之乾式五級魯氏邦浦，型號ADS301，設定零抽氣流量之運轉條件下，於半無響室中測試其邦浦本體、支座、軸承及馬達等位置之振動訊號；並於相同條件下同時量測該邦浦之噪音量、聲輻射功率、及聲源之聲強分析。 比較振動與噪音之量測分析結果，得知振動方面主要之振動源在多級魯氏泵之同步齒輪，其次爲馬達振動；噪音方面，主要之聲源爲隔振不良之機體左右側蓋板受激振而輻射出之噪音，其次則爲馬達噪音。
延伸閱讀
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