本文針對12吋晶圓承載盒(Wafer Front Opening Shipping Box, FOSB),進行結構的有限元素分析與模態測試(Model Test),做自然頻率分析之比對,在模態相合的狀況下,反求材料之機械常數,藉以了解FOSB結構之動態特性,做為後續防震設計改善之參考依據。
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