摘要
本研究主要目的在於開發－非接觸振動量測系統，作為微細撓性樑的振動量測。以市售的光碟機(DVD-ROM)內之光學讀取頭(Pickup head)為光路基礎，利用光碟機聚焦量測原理，當待測物反射面不在讀取頭物鏡的聚焦面時，經由感測器量測得到一個失焦誤差訊號的S曲線，利用S曲線之線性區中失焦量與失焦訊號一對一之線性關係進行量測。由於光學聚焦讀取頭之量測光點直徑大小約為0.688μm且具極高位移量測精度的特性，因此可應用於微小物體的振動量測。本研究將其應用於彈性基底之微細撓性樑的模態振形量測，文中將實驗量測結果與理論模擬相互進行印證後達預期之量測結果。
延伸閱讀
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