摘要
現代CMOS製程受益於數十年的工程和投資，所有這些技術開發的預期應用是製造大規模電子電路，但是工具、技術和通用基礎設施已經實現了許多其它領域，包括積體光子學技術的若干實施範例。在一個案例中，代工CMOS矽光子技術已實現了晶片上的系統功能，包含整個電光子系統和單晶片收發器的積體化。目前，最廣泛的產品應用已經利用CMOS工具和技術來製造矽光子光學元器件。在本文第一部分中，筆者將介紹如何利用CMOS製程技術將光學元件整合至矽晶片製程中。在文章第二部分，筆者將說明國家實驗研究院台灣半導體研究中心提供經過驗證和高度可靠的砂光子服務平台，該平台的重點為以矽光子技術為基礎的積體電路（IC）建立設計流程的全國標準。