以模擬退火法推算薄膜之光學常數

蕭家鼎(Chia-Ting Hsiao)

指導教授 ： 李正中

國立中央大學/理學院/光電科學研究所/碩士(2006年)

摘要

由於在光學鍍膜中，量測或了解所製鍍膜層之光學常數為一個重要的問題。 在多層膜方面，橢圓偏振法為常利用於推算光學常數的方法，但因橢圓偏振儀價格昂貴以及操作及分析困難，故本文利用光譜儀所量測到之穿透光譜，及搭配上演算法之模擬退火法，能成功的推算出已知精確折射率以及精確消光係數之多層膜的各層厚度值，及能推算未知折射率(不包含色散)之粗略折射率以及粗略厚度値。
本文採用C++ Builder 5.0程式語言作為程式開發之工具並且完成人性化介面之程式，在輸入所知之光學常數初始値之後，能簡易的得到欲求之光學常數值。

關鍵字

薄膜 ； 模擬退火法 ； 光學常數

並列摘要

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