工業安全衛生
社團法人中華民國工業安全衛生協會,正常發行
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鑒於近年來多項重大化學品事故，世界各國對於化學品法規與標準越來越嚴謹，在化學品使用上有了許多限制，如台灣立法規範的新化學品、管制性化學品、公共危險物品、先驅化學品等項目，到歐盟REACH的高度關注物質、RoHS限制指令甚至是終端客戶自主的禁用物質要求。台商拓展市場通路於兩岸皆有設置工廠或據點已成普遍常態，臺灣企業有必要熟識中國大陸化學品政策管制內容及措施，然而選擇化學品時因制度而影響選擇性，間接造成成本增加與安全性問題。本研究以柔性薄膜製程所使用到之化學品為研究對象，針對兩岸法規比較差異分析，研究結果顯示，我國「勞工作業場所容許濃度暴露標準」與中國大陸「工作場所有害因素職業接觸限值（第一部分：化學有害因素）」法規，對於氰化物有職業暴露限值，大陸嚴謹度優於台灣；易燃物油墨之危險物品管制或硫酸危害性化學品管理上臺灣則較為全面。故事業單位於導入化學品原料前，應針對當地規範進行實驗及提供數據，搭配化學品物化性資料檢視。
- 期刊
半導體晶圓廠空氣中的硫化氫（H_2S）由於易與含銅薄膜進行反應產生缺陷，因此長期準確監測H_2S氣體濃度成為廠區控制產品良率的重要需求。目前普遍用來監測H_2S的儀器為紫外光螢光法分析儀，其主要是利用H_2S氧化物－二氧化硫（SO_2）的螢光發光值回推H_2S含量，然而空氣中的一氧化氮（NO）卻會發出與SO_2螢光光譜重疊的光譜，因而導致分析偏差與錯誤示警。為改善NO對H_2S分析儀的干擾，本研究以紫外光誘發臭氧氧化法將NO轉化為NO_2以降低NO干擾並提高分析儀對H_2S濃度響應的準確性。實驗結果顯示，廠區空氣中含有38-67 ppbv NO與1.1-1.6 ppbv H2S，NO確實對分析儀造成正偏差影響，且響應值與NO濃度呈正相關（y=0.0149x+0.3581, R^2=0.9938），透過紫外光誘發臭氧氧化法可大幅移除99.28-99.42%的NO，但對H_2S測值的影響僅0.5-1.8%，系統的方法偵測極限可達0.44ppbv，相較於一般以活性炭移除NO但卻同步吸附98% H2S，紫外光誘發臭氧氧化法可有效降低NO干擾且低度影響H2S測值。當紫外光燈管輸出功率為75%時，對NO有最快移除速率，其速率常數可達1.64 min-1，且連續15天維持99%以上去除效率。