潔淨區消防安全設備設置要點對晶圓廠潔淨室整體消防安全影響概述

陳麒元

《工業安全衛生》 353期 (2018/11) Pp. 49-67

https://doi.org/10.6311/ISHM.201811_(353).0007

摘要

就半導體製造業而言，潔淨室（區）是一個製程生產的作業場所，該場所必須有良好的控制，以避免微粒污染晶圓（Wafer）造成良率下降。因此，對該作業場所空氣中的微粒、溫度、溼度皆須有效控制。對於先進製程而言，由於製程條件更為要求，潔淨室的氣流運動模式、微震動與噪音等因素的控制更為嚴謹。因為潔淨室有著幾項特點，1.垂直（由上而下）的氣流2.趨近恆溫環境與正壓3.潔淨室與潔淨室下層相通（有格子樑或高架地板相通）4.空間的密閉性5.自燃性氣體及可燃性化學物質。上述特點與一般的環境有很大的差異性，垂直的氣流讓傳統的火警偵測器無法利用熱空氣上升的原理，即早偵知火災，氣流讓排煙設備不易達到效果。趨近恆溫環境、正壓及氣流因素，讓偵溫探測器感測效果不佳，消防撒水頭反應時間延遲。由於潔淨室內挑高樓層，再加上潔淨室（FAB）與潔淨室下層（Sub FAB）相通，讓整體空間擴大，造成火警偵測的不易。空間密閉性但跨樓層間相通，造成防火區劃不同於一般建築、災害發生時避難逃生的困難度增加。潔淨室內的自燃性氣體及可燃性化學物質，無形中也增加了潔淨室的助燃性物質或火載量，也使火災的成長及擴張難以掌握，加上製程特殊化學品及氣體，造成消防搶救上的困難度。有鑑於此；於民國106年內政部通過潔淨區消防安全設備設置要點，讓業界對新建的潔淨室能有更大的彈性規劃火警、滅火、排煙、避難引導等消防設施。但在消防安全建置邏輯思維，1.以建築及隔間的不燃化來強化建築物安全，2.以火警自動警報設備，來促使人員應變及逃生，3.以自動滅火設備滅火救災4.以排煙及避難逃生設施，避免人員死傷。5.以防阻延燒對策，避免火勢延燒增加財產的損失。由上述可知，由於潔淨室的特殊環境不同於一般，因此以專法讓業者對消防設施、設備的配置，能有更大彈性空間。但就規劃者而言，是否對潔淨室有足夠的了解，能否於規劃時，就考量消防安全建置邏輯的先後順序，設計出最適化的消防設施。或僅就考量成本，設置符合法規的要求成效不彰的消防設施，這是一不容忽視的課題，也是損害防阻從業人員面臨的挑戰。

關鍵字

火警 ； 消防 ； 偵測