- 學位論文
鋁合金表面經輝光放電處理後在同步輻射光照射下之水氣釋氣行為
The water outgassing behavior of the aluminum surface irradiated with synchrotron light after glow discharge treatment
摘要
本實驗使用輝光放電清洗方法處理樣品表面，並利用長時間曝光的方式，探討鋁合金表面受同步輻射光照射時與水氣之作用行為。 由殘留氣體分析儀質譜顯示，經不同輝光放電清洗之鋁合金樣品在施加正偏壓照光時，水氣分壓下降量比例由小而大依序為：1.以氫氣輝光放電處理，2.以氬氣輝光放電處理，3.以氧氣輝光放電處理，4.未經輝光放電處理，此順序大致與輝光放電處理後對於樣品表面氧化物之消耗程度有關。從本實驗結果來看，鋁合金曝光時真空腔內水氣分壓下降機制，與鋁合金樣品表面之氧含量有關，表面氧含量越多，照光時水氣分壓下降幅度越大。 另外，本實驗結果亦發現，當偏壓為+100V時，經過氬氣、氧氣及氫氣輝光放電處理過之樣品表面，照光時水氣分壓會明顯上升而後下降，此現象在其他分壓條件或未經輝光放電處理之樣品皆未發現。因此推測照光且施加正偏壓時，打到樣品之電子的能量變化對水氣之形成及脫附之現象，有明顯之影響。而且，輝光放電處理，會影響此作用之能態。 長時間曝光實驗中，光累積劑量達 ，在實驗結束後再照光水氣仍有下降情形，停光後水氣仍有上升情形，判斷反應仍在進行，而由結果中估計達反應飽和劑量約需 。
關鍵字
輝光放電參考文獻
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