高UV 感光性新穎含羧基(-COOH) cresol novolac epoxy 改質壓克力寡聚物之合成與其作為PCB 光阻劑之性質評估

The improvement of UV sensitivity for-COOH pending cresol epoxy modified acrylate oligomer and related property reserch

劉進銘(Jin-Ming Liu)

指導教授 ： 李育德

國立清華大學/工學院/化學工程學系/碩士(2009年)

摘要

本研究選取三種環氧樹脂分別為cresol novolac(E1)、phenol novolac(E2)、與bisphenol A(E3)環氧樹脂，利用環氧基的反應性，合成含有羧基並具有光反應性官能基的紫外光硬化樹脂，同時將部份羧基與GMA (Glycidyl methacrylate)進行反應，導入更多的光反應性官能基，以增強樹脂的感光性。所合成的六種樹脂(E1-2、E1-3、E2-2、E2-3、E3-2、E3-3)及中間化合物均使用質子核磁共振光譜(1H-NMR)與紅外線光譜(IR)鑑定其化學結構。
同時將合成樹脂，與光起始劑、光反應性單體等，調配成光阻劑，測試其光組特性。三種樹脂接上GMA後，在感度測試上，皆有明顯增加，其中phenol novolace改質的紫外光硬化樹脂，具有最佳的感度。在解析度測試上，經由SEM觀察，皆可達到10μm以上的解析度。
將合成樹脂調配成PCB光阻劑(液態防焊綠漆)，實際應用在工業測試上，接枝上GMA的cresol novolac型的感光樹脂與phenol novolac型的感光樹脂，具有比商業產品優異的感度，同時也通過其他的PCB光阻劑測試。

關鍵字

光阻劑 ； 環氧樹脂 ； 紫外光硬化

並列摘要

無資料

並列關鍵字

photoresist ； epoxy ； uv-curing

參考文獻

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