高速面射型雷射之簡易製程方法

A Simple Method for Fabrication of High Speed Vertical Cavity Surface Emitting Lasers

蘇炎坤(Y.K. Su) ； 尤信介(H.C. Yu) ； 宋嘉斌(C.P. Sung) ； 楊泓斌(H.P. Yang) ； 黃俊元(C.Y. Huang) ； 王靜美(J.M. Wang)

《真空科技》 17卷3期 (2004/11) Pp. 15-20

https://doi.org/10.29808/JVSROC.200411.0003

摘要

本文主要探討氧化侷限面射型雷射之簡易製程技術。高溫壽命測試結果顯示，利用該製程技術所製作之元件可連續操作超過10000小時，高頻眼圖亦證實該元件可操作在10Gbps的速度。

關鍵字

面射型雷射 ； 輸出功率－電流－電壓關係 ； 遠場圖形 ； 壽命測試

並列摘要

A simple processing technology for oxide confined vertical-cavity surface-emitting lasers fabrication is reported in this article. Results of the burn-in test up to the present-day show that the high temperature lifetime of the fabricated devices exceeded 10000 hours. The eye diagrams show that the devices can be modulated up to 10Gbps.